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半導體工業制造過程中無塵車間占據多大的影響力

半導體工業制造過程中無塵車間占據多大的影響力

發布時間:2023-12-08 08:18:41    瀏覽量:226

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所謂的無塵車間是一個人造的環境,里面含有的粒子遠低于一般的環境,隨著集成電路技術的快速成長,也增加了對制造環境(無塵車間)潔靜度的需求,在工業上即使粒子之尺寸小于1微米,也可能阻礙產品的運作或降低其壽命。

半導體工業是極*密的工業,當我們把計算機拆開之后,在電路板上一顆顆小小的IC都有數百萬顆甚至數千萬顆的晶體管。由于奈米技術的興起,造成半導體關鍵尺寸持續縮小,集成電路積集度不斷的增加,塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當金屬塵粒地落到金屬導線時,就可能會使金屬導線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導線上,可能將其腐蝕,所以無塵車間為集成電路制造不可或缺的要素。

為了讓這些極小的晶體管妥善的工作,制造的過程應該在無塵車間內進行,集成電路制造的工廠動輒需要數十億、數百億的投資,多因為需要一個無塵車間。而且為保持無塵車間的潔凈度,進出的人員有一定的穿著規定;10000與100000級,應該穿著長袍無塵衣、無塵鞋、帶帽子與面罩;1000級(含)以上,需穿著特殊的潔凈連身衣、無塵鞋將全身裹住,并帶上手套和面罩。

依據美國聯邦政府頒布的標準【FederalStandard(FS)209E,1992】,可將無塵車間分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級,如果無塵車間的等級只用塵粒數目來敘述,則可假設塵粒的尺寸為0.5?m,例如,1級、10級、100級無塵車間**大塵粒數目分別小于或等于1顆、10顆、100顆,如果塵粒尺寸不是0.5?m,無塵車間等級應以在一特定塵粒尺寸的級數來表示。例如:10級在0.2?m(塵粒尺寸在0.2?m或更大下,密度不大于75顆/立方英?),1級在0.1?m(塵粒尺寸在0.1?m或更大下,密度不大于35顆/立方英)。而集成電路制造所需的無塵車間之潔凈度應該優于1000級。

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