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凈化車間溫濕度等級要求

凈化車間溫濕度等級要求

發布時間:2023-08-02 09:00:59    瀏覽量:311

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凈化車間的溫濕度主要是根據您的加工工藝要求來確定,在滿足加工工藝的條件下,**應該考慮人的舒適感。隨著空氣潔凈度要求的提高,工藝對溫濕度的要求也越來越高,凈化車間應該達到一定的溫濕度等級。

例如在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。凈化車間凈化車間材料是凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造,其特點為美觀、剛性強、保溫性能好、易施工。圓弧墻角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造地面可采用環氧自流坪地坪或***磨塑料地板,有防靜電要求的,可選用防靜電型。直徑100um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以應該有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,這種凈化車間不宜超過25度。濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻(cooling)水管壁上會結露,如果發生在*密裝置或電路中,就會引起各種事故,相對濕度在50%時易生銹。

對于大部分潔凈空間,為了防止外界污染侵入,需要保持內部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓),凈化車間壓力差的維持一般應符合以下原則:

1.潔凈度**高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度**低的空間的壓力。潔凈室車間凈化工作原理為當控制器接通電源時,油霧分離器口產生強大的靜壓迫使油霧被定向吸入油霧分離器內。在油霧分離器內風輪的作用下發生碰撞,使微小的顆粒集合成能被控制的小顆粒,在吸霧材料的阻擋下實現空氣與水的分離。

2.相通凈化車間之間的門要開向潔凈度**高的房間。

3.車間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。凈化車間材料是凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造,其特點為美觀、剛性強、保溫性能好、易施工。圓弧墻角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造地面可采用環氧自流坪地坪或***磨塑料地板,有防靜電要求的,可選用防靜電型。

壓力差的維持依靠新風量(定義:單位時間內空氣的流通量),這個新風量要能補償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透風量通過潔凈室的各種縫隙時的阻力。

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